7月30日，科创截止午间收盘，半导备科创半导体设备ETF鹏华（589020）跌8.71%，体设报2.170元，鹏华成交额9.02亿元。跌半科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股部分，日成华海清科截止午盘跌7.14%，交额中微公司跌5.81%，亿元中科高效测跌12.60%，科创拓荆科技跌7.22%，半导备华峰测控跌7.25%，体设芯源微跌12.67%，鹏华沪硅产业跌4.56%，跌半盛美上海跌5.04%，日成安集科技跌9.93%，交额富创精密跌7.10%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为136.97%，近一个月回报为-25.77%。

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